Semiconductor (1) 썸네일형 리스트형 [반도체 8대 공정] 5. 산화 공정에 대하여 안녕하세요! 오늘은 반도체 8대 공정 중 두 번째 단계인 산화 공정에 대해서 복습해보도록 하겠습니다! 저번 글에서는 반도체를 만드는 데 있어 가장 기본이 되는 웨이퍼 제조에 알아보았고 이번 글에서는 그 웨이퍼를 보호하기 위한 산화 공정에 대해 알아보겠습니다. 1. 산화 공정 개념 먼저 산화 공정이란 웨이퍼 표면에 SiO₂의 막을 형성시키는 과정인데요, 포토공정, 식각공정 등이 잘 일어나도록하게 하는 발판이 되어줍니다.그 뿐만 아니라 위에서 말했듯이 매우 작은 오염물이라도 직접회로의 전기적 특성에 치명적인 결함을 일으킬 수 있기 때문에 웨이퍼를 보호하기 위한 목적으로도 꼭 필요한 과정입니다. 2. 산화 방법 산화 공정 방법으로는 열산화(Thermal Oxidation), 화학적 기상 증착 산화(Chemi.. 이전 1 다음
