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Photolithography

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[반도체 8대 공정] 1. 포토 공정에 대하여 안녕하세요. 오늘은 포토공정에 대해 복습해보려고 합니다!포토 공정은 반도체 8대 공정 중 하나로, 간단히 말해서 미세 패턴을 만드는 공정이라고 볼 수 있습니다. 반도체 8대 공정엔 웨이퍼 제조, 산화 공정, 포토 공정, 식각 공정, 박막 증착, 금속 배선 공정, EDS 공정, 패키지 공정이 있습니다. 그 중 포토 공정과 공정에 사용되는 장비에 대해 알아보겠습니다. 포토공정(Photo Lithography Process)란 마스크에 고정된 exposure slit을 통해 빛을 통과시켜 웨이퍼에 회로를 그려 넣는 공정입니다.포토 공정은 사진이 현상되는 원리랑 비슷합니다! 사진을 현상할 때에 필름이나 사진지에 빛이 노출되어 이미지가 형성되고, 포토 공정에선 마스크를 통해 wafer가 빛에 노출되어 패턴이 형성..

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